中国科学院微电子研究所成立于1986年（2003年将原名微电子中心正式更名为微电子研究所）。是中国科学院唯一一个从事微电子学应用基础研究的研究所。主要任务是：面向国家微电子领域持续发展中的重大科技需求，进行微电子学、超微细和超薄技术、计算机辅助集成电路设计研究；承担重点科技攻关与产品开发；着重开展微电子高技术前沿研究，同时利用所形成的技术、人才和设备优势，积极进行高技术成果的应用开发和生产。
微电子所现有在职员工425人，专业技术人员288人，其中科学院院士2人，研究员33人。研究所设有博士学位和硕士学位授予点， 在读博士、硕士生200人。
1999年，中国科学院批准微电子所为国家“知识创新工程”试点单位。五个研究室在多个学科方向上选择了多个科研项目开展创新试点研究工作。如：“深亚微米集成电路关键工艺模块”；“CMOS/SOC集成电路技术”；“基于‘IP’库的专用集成电路设计”；“高性能专用集成电路设计”；“化合物半导体器件与电路”等。1998年4月，微电子所通过了IS9002质量体系认证，2003年通过国家军用标GBJ9001A-2001。2003年9月正式建立博士后科研流动站。